吸氣劑復(fù)合型離子泵是一種高效的氣體抽取技術(shù)，下面就給大家詳細(xì)介紹一下它的性能特點(diǎn)，希望能夠幫助到大家！
 

　　吸氣劑復(fù)合型離子泵的性能特點(diǎn)如下：
 

　　1、高抽速和低壓力：采用電離泵和吸氣劑共同作用，可實(shí)現(xiàn)高抽速和低壓力的抽取。這種離子泵的抽速通常在100~10,000L/s之間，而其抽取壓力通常在10^-9~10^-11Torr之間。
 

　　2、高真空下也能工作：適用于高真空條件下的氣體抽取，可以將真空度提高到非常低的水平。這使得它在許多應(yīng)用中都是重要的。例如，在半導(dǎo)體制造中，需要高真空環(huán)境來(lái)避免污染和減少雜質(zhì)。
 

　　3、可以處理大量氣體種類(lèi)：可以處理各種類(lèi)型的氣體，包括惰性氣體、反應(yīng)性氣體和蒸汽。這種泵具有廣泛的應(yīng)用領(lǐng)域，例如在化學(xué)制造中可用于處理危險(xiǎn)氣體。
 

　　4、長(zhǎng)壽命：由于其內(nèi)部沒(méi)有運(yùn)動(dòng)的機(jī)械部件，因此其壽命比其他類(lèi)型的泵長(zhǎng)。它們需要很少的維護(hù)和保養(yǎng)，可以在多年甚至幾十年的時(shí)間內(nèi)持續(xù)運(yùn)行。
 

　　5、清潔和安全：它是一種相對(duì)干凈、不產(chǎn)生粉塵和污垢的抽取技術(shù)。此外，它也是非常安全的，因?yàn)殡婋x器內(nèi)只有低電壓和低電流。
 

　　總之，吸氣劑復(fù)合型離子泵是一種高效、低壓力、長(zhǎng)壽命、廣泛應(yīng)用、清潔和安全的氣體抽取技術(shù)。由于其出色的性能，它在許多領(lǐng)域都被廣泛使用，例如在半導(dǎo)體制造、化學(xué)制造、材料研究和天文學(xué)中等。